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前不久，中科院光电技术研究所承担的一项国家重大科研装备研制项目“超分辨光刻装备研制”通过验收。研发人员介绍，这台22纳米分辨率光刻机在加工大口径薄膜镜、超导纳米线单光子探测器等纳米功能器件上具有明显优势。但是，这台光刻机要想应用于芯片，还要攻克一系列技术难题，距离还相当遥远。
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